暗场系列

机型

PA200-BD

PA200-BD-T

PA300-BD

PA300-BD-T

光学系统

无限远校正光学系统（CCIS）

照明

反射

反射 / 透射

反射

反射 / 透射

观察筒

加长变角镜头 (目视：100;0,0;100)

目镜

UC-WF 10X/25，屈光度可调 +/-5（标配）

转换器

电动五孔明暗场转换器带 DIC插槽（标配）
电动六孔明暗场转换器带 DIC插槽（选配）

Plan S-APO平场半复消色差金相物镜

Plan S-APO BD 5X,N.A.0.15,W.D 18mm
Plan S-APO BD 10X,N.A.0.30,W.D 11.9mm
Plan SAPO BD 20X,N.A.0.5,W.D 2.9mm
Plan S-APO BD 50X,N.A.0.80,W.D 1.07mm
Plan S-APO BD 100X,N.A.0.90,W.D 0.635mm (选配)

LPlan S-APO长距平场半复消色差金相物镜（选配）

LPlan S-APO BD 20X,N.A.0.4,W.D 11.9mm
LPlan S-APO BD 50X,N.A.0.55,W.D 8.05mm
LPlan S-APO BD 100X,N.A.0.8,W.D 3.58mm

调焦机构

行程范围：30 mm，粗调和微调手轮
粗调：17.7 mm/转，微调：0.1mm/转
上限位，松紧调节环

反射主体

Yes

/

Yes

/

透反主体

/

Yes

/

Yes

反射照明

柯勒照明系统 / 明暗场，DIC,简易偏光

透射照明

/

Yes

/

Yes

照明光源

10W LED灯（标配）
100W卤素灯（选配）/10W LED灯

10W LED灯（标配）
100W卤素灯（选配）/10W LED灯

10W LED灯（标配）
100W卤素灯（选配）/10W LED灯

10W LED灯（标配）
100W卤素灯（选配）/10W LED灯

聚光镜

/

LWCD,N.A 0.55

/

LWCD,N.A 0.55

载物台

PA200：标配 8 手动载物台 尺寸：420mm×400mm 移动行程：200mm×200mm 金属台板 / 玻璃台板 选配 8 寸晶圆台板
PA300：标配新设计 12 手动载物台 尺寸：710mm×426mm 移动行程：425mm×310mm 玻璃台板

PA200：选配 8 片国产电动载物台 尺寸：418mmX31mm 移动行程：204mm X 204mm 金属台板 / 玻璃台板 选配 8 寸晶圆台板
PA300：选配 12 片电动载物台 尺寸：520mmX400mm 移动行程：300mmX300mm 金属台板 / 玻璃台板 选配 12 寸晶圆台板

重量

PA200：约 65 kg / PA300：约 75 kg